1、明视野法

观察试样直接反射光的方法。照明灯的光通过物镜垂直导向而入射于试样，来自试样的直接反射光通过物镜即被观察到。

2、暗视野法

观察试样干涉及衍射光的方法。照明光线通过物镜外围斜射于试样，来自试样的干涉及衍射光即被观察到。适用检测试样上微细的擦痕或裂痕、检测晶片等试样镜状表面。

3、微分干涉对比法

这是将用明视野法可能观察不到的试样高度微小差异通过改善对比法变为立体或三维图像的显微观察技术。照明光由微分干涉对比棱镜变为两束衍射光。这两束衍射光使试样高度差异造成在光路上的微小差异，而光路差异变为利用微分干涉对比棱镜和检偏振器的明暗对比。 再利用敏感色板，加强了高度差异的颜色变化。